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TBJ系列潔凈干燥箱又稱無塵烘箱、無塵循環(huán)風(fēng)烘箱，適用于無塵車間的各種工件的熱處理以及電子產(chǎn)品的老化等作用，以保證工件的精度和潔凈度。如電子液晶顯示、LCD，CMOS，IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門，也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化錦、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤等。